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电子领域的“工业血液”高纯二氧化碳

浏览:    发布时间:2021/10/7 21:12:38

工业中,常温常压下呈气态的产品被人们统称为工业气体产品。根据制备方式和应用领域的不同,工业气体可分为大宗气体和特种气体。大宗气体主要包括氧、氮、氩等空分气体,及乙炔、二氧化碳等合成气体,特种气体主要包括电子气体、高纯气体和标准气体。电子特种气体(电子特气)属于高技术、高附加值产品,在半导体和微电子工业中应用广泛。电子特气主要包括氢化物、氟化物、氟代烷烃、金属有机化合物等等,是超大规模集成电路、平面显示器件、化合物半导体器件、太阳能电池、光纤等电子工业生产不可缺少的重要材料,被广泛应用于集成电路、显示面板生产过程中的薄膜制造、刻蚀、掺杂、气相沉积、扩散等工艺中。电子特气的品质主要取决于其纯度和净度。一般而言,对电子特气的纯度要求达到了5N-6N(N 指纯度百分比中9的个数,例如5.7N表示99.9997%,6N 表示99.9999%),同时还要求将金属元素净化到10-9级至10-12级。纯度每提升一个N,以及粒子、金属杂质含量浓度每降低一个数量级,都将带来工艺复杂度和难度的显著提升。一旦电子特气的纯度或是净度不达标,轻则使得下游产品质量不过关,重则扩散污染整条产品线,造成产品全部报废。