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大宗气体的名字由来

浏览:    发布时间:2022/8/13 16:12:40

气体工业术语。半导体工业中使用的气体统称为电子气体。按其类别可分为纯气体、高纯气体和半导体特种材料气体三大类。特殊材料气体主要用于外延、掺杂和刻蚀工艺;高纯气体主要用作稀释气体和载气。电子气是特种气体的一个重要分支。根据纯度等级和应用场合,气体可分为电子级、LSI(大规模集成电路)级、VLSI(超大规模集成电路)级和ULSI(超大规模集成电路)级。